B11 · Halfgeleider & elektronisch gas
Roestvrijstalen platen voor halfgeleiders en elektronische speciale gassen: selectiegids en 6 onderdelenlijsten
In onze halfgeleiders en elektronische speciale gassen hebben we 6 onderdelen georganiseerd met roestvrij staal: veelgebruikt 316L / 304L met een dikte van 0,05–30 mm.
Zes locaties en materiaallijsten
| Locatie / onderdeel | Aanbevolen kwaliteit | Specificaties / dikte | Oppervlak | Belangrijkste faalwijzen | Referentienormen |
|---|---|---|---|---|---|
| UHP-gastransportleidingen | 316LVIM-VAR | 1/8″–2″ | Ra≤0,4μm elektropolijsten; interkristallijne corrosietest | Deeltjesretentie → waferverontreiniging; Cl⁻/F⁻-etsing; corrosie in de warmte-beïnvloede zone (HAZ) van de las | SEMI F20 Grade 5; ASTM A269/A632; SEMI F19 |
| Kleplichaam/manometers/membraankleppen voor speciaal-gaskasten | 316LVIM-VAR smeedstukken | DN1/4″–1″; Cv 0,05–1,30 | Ra≤0,4μm elektropolijsten | Seat to pipe wall distance >1D-vormen vasthouden dode zones; corrosieve etsing door speciaal gas | SEMI F20 4.6.2; ASTM A182 |
| Gasfilters/aansluitingen/bossen | 316LVIM-VAR | Per interface | Ra≤0,4μm elektropolijsten | Verstopping door deeltjes en corrosieproducten; lekkage van aansluitingen | SEMI F20; ASTM A269 |
| CMP-slurry-/natte-chemicaliën-transportleidingen | 316LEP/PFA/PTFE-bekleding | 1/4″–2″ | Ra≤0,4μm elektropolijsten | Schurend slijpen + sterk zuur/oxidatiemiddel + deeltjesretentie | SEMI F20; SEMI F57; ASTM A269 |
| Wafer-ring/klemsproeier | 316L/PFA/silicium/kubisch siliciumcarbide | 3-10mm vat | Polijsten/diffusie | Sterke corrosie + deeltjesverontreiniging | SEMI F20；ASTM A240 |
| Vacuümkamer/voorplaat/observatievensterhals | 304L/316LVacuümklasse | Schip | 2B/schuurpolijsten/zure reiniging | Lage vacuümdegradatie, laslekkage | ASTM A240；SEMI F20；ISO 3669 |
Snelheid voldoet niet aan de eisenStandaardconfiguratie.Hetzelfde onderdeel kan op basis van gebruiksomstandigheden overschakelen van 316L naar 304L of 2205, waardoor tijd wordt bespaard door voorwaarden te specificeren in plaats van alleen het materiaal.
Belangrijkste punten bij materiaalselectie
- Meest gebruikte kwaliteiten zijn 316L (6) en 304L (1).
- Begin met zuurbestendig 316L, ga hoger met 904L / of duplex (2/6 treffers).
- Diktebereik: 0,05–30 mm: dunne platen zijn voor gevormde onderdelen (houd rekening met buigterugvering en dieptrek-scheuren), dikke platen zijn voor lasconstructies (houd rekening met warmte-inbreng en sensibilisatie).
Veelvoorkomende problemen
Welk roestvrij staal wordt het meest gebruikt voor halfgeleiders en elektronische speciale gassen?
Van de totale 6 onderdelen komt 316L het vaakst voor (6 treffers), gevolgd door 304L (1 treffer). Specifiek voor een onderdeel hangt nog steeds af van het medium en de temperatuur. Bijvoorbeeld, beide roestvrijstalen werkbladen zouden verschillende kwaliteiten vereisen als één wordt blootgesteld aan zout water.
Welke soorten gebieden zijn gevoelig voor problemen?
Op basis van storingsbeschrijvingen zijn typische voorbeelden "UHP-gastransportleidingen": deeltjesretentie → waferverontreiniging; Cl⁻/F⁻-specifieke corrosie; corrosie in de warmte-beïnvloede zone (HAZ) van de las. Aanbevolen kwaliteit 316L VIM-VAR met specificaties 1/8″–2″. Voor deze omstandigheden wordt aanbevolen om in de ontwerpfase mediumconcentratie, temperatuur en reinigingsmethoden te specificeren.
Welke dikte moet ik selecteren?
Diktebereik in de lijst is 0,05–30 mm. Overweeg voor dunne platen buigen en oppervlakteafwerking; voor dikke platen lassen en structurele sterkte. Waarden kunnen per apparatuurfabrikant variëren voor dezelfde locatie. Controleer opnieuw met uw tekening of bedrijfsomstandigheden.
Gerelateerde materialen en aangrenzende industrieën
Applications6